为了实现较高精度的切削运动，高精密机床加工的运动控制普遍采用较高级别的功能部件。

在导轨和轴承方面，由于高精度加工需要实现高精度和平稳的定位运动、轨迹运动和微小距离运动，因此高精度加工机床采用静压丝杠和静压导轨较为常见。此外，高精密加工机床的电主轴也可采取动压或静压轴承的方案，以同时实现支承和冷却功能，并提高主轴的刚度和阻尼性能。

在位置控制方面，由于精密测量是控制高精度加工的前提，要保证机床的运动达到需要的精度级别，其电子尺的测量精度须要高1~2 个数量级。目前高精度加工机床一般采用分辨率达0.05~0.1μm 的玻璃光栅。机床的加工精度、光洁度和刀具寿命与机床的刚性成正比，因此高精度加工机床尤其重视床身的设计和材料选择。

其床身材料为球墨铸铁，经过有限元分析优化后，床身的静态刚度达120N/μm，比一般数控机床高3 倍，高频动态刚度比一般机床高2~3 倍。此外，JIG 系列机床的床身采用三点支撑，并将刀库、电气柜、托盘交换装置等周边系统与床身分离，此举除可以简化机床安装以外，还有提高机床稳定性、降低床身颤动的作用。